純水機的純化系統流程中有幾種常見的術語，分別是PF(預過濾)，AC(活性碳)，RO(反滲透)，UV(紫外殺菌/消解)，UF(超濾)。具體介紹如下。

(1) 預過濾(PF): 盡量去除對反滲透膜有影響的雜質，主要指大顆粒物質。

(2) 活性碳(AC): 活性碳吸附法，利用活性碳過濾器的孔隙大小及有機物通過孔隙時的滲透除去非離子性的有機物。

(3) 反滲透(RO): 反滲透是用足夠的壓力使溶液中的溶劑(一般常指水)通過反滲透膜(一種半透膜)而分離出來。反滲透膜的主要分離對象是溶液中的離子范圍。反滲透(RO)法是可達到90%-99%雜質去除率中最經濟的方法，通常用于過濾除直徑小于1nm的污染物。

(4) 離子交換(DI): 離子交換法，即是以圓球形樹脂(離子交換樹脂)過濾原水，水中的離子會與固定在樹脂上的離子交換，常見的兩種離子交換方法分別是硬水軟化和去離子法。

(5) 超濾(UF): 微孔薄膜是依其孔徑大小來去除顆粒，而超濾(UF)薄膜則是一個分子篩，它以尺寸為基準，讓溶液通過極細微的濾膜，以達到分離溶液中不同大小分子的目的。超濾膜是一種強韌、薄、具有選擇性的通透膜，可截留大部分某種特定大小以上的分子，包括：膠質、微生物和熱源。較小的分子。