氫氣發生器中會采用多種凈化技術來提高氫氣的純度，以滿足設備的用氣要求，例如，GC/MS應用中，需要高純氫氣作為載氣；CVD應用中，需要高純氫氣作反應氣等。
一般發生器都是通過電解水生成氫氣，并結合各種凈化技術來，以產生高純度的氫氣。
接下來，我們一起來看看氣體發生器中氫氣的凈化都會用到哪些技術。
 

1.PEM電解水/硅膠凈化技術
硅膠柱是一種常見的干燥凈化方法，硅膠柱內填充作為干燥劑的硅膠珠，此方法簡單而普遍被采用。
經PEM技術產生的氫氣流經不銹鋼外殼的硅膠柱以去除水分，以生產高純度氫氣，滿足應用的純度要求。
特點和優勢

• 方便更換
• 符合一般GC 的純度要求
• 與其他凈化方式相比，成本更低

問題

• 凈化效果不理想，一些水分或氧氣殘留通常仍然存在
• 需要根據使用情況定期更換硅膠柱,對于使用頻率較高的客戶，可能需要每周更換硅膠柱

2.PEM電解水/鈀膜凈化
這是一種通過壓力的驅動，使氫氣在鈀膜中擴散的凈化裝置。一般是由鈀和銀的的材料復合組成，當加熱到300ºC以上時，具有僅允許單原子氫通過其晶格的特性。與鈀膜表面接觸的氫氣分子分解成單原子氫并通過鈀膜。然后在另一側，單原子氫被重組成雙原子氫氣。
鈀凈化器可以有多種形式，包括管狀排列、卷曲螺旋或箔膜形式。